產品介紹 產品介紹
表列
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Cassette/晶舟盒/晶圓盒
承載晶圓專用的晶圓舟,材質有金屬及鐵氟龍,各種尺寸與規格皆可設計。主要功用於無塵室內承載晶圓在無塵室生產時配合機台,並避免直接接觸使晶圓造成污損,將晶圓放置晶舟內,再置入機台。
半導體製程中,晶圓在高溫製程中,需要金屬晶舟當載具,金屬晶舟有設計防滑裝置,晶圓置放於金屬晶舟內,關上定位桿即可防止晶圓在傳送或製程中滑落。晶圓在酸鹼製程中,以鐵氟龍晶舟當載具,採用特殊的功能設計,在晶圓放置於晶舟後,不會左右晃動,離開酸槽後可以將酸的殘留量降至最低。 -
O型環/真空吸盤/全氟橡膠製品
O型環(O-RING),是一種圓環形狀的橡膠墊片,具有彈性,斷面呈現圓形,一般會固定於凹槽中,組裝過程會被兩個或兩個以上的組件壓縮,因此產生密封的狀況。O型環是最常見的密封用機械零件,可用於靜態和相對運動的動態應用中。 真空吸盤用於自動化、省力化,對部品供給,固定化作業上最有效的設備。 全氟化橡膠(FFKM),全氟化橡膠材料是目前所有彈性密封材料中耐高溫、耐化學溶劑性能及潔淨特性最好的橡膠材料,可應用於半導體工業、石化工業、汽車工業、航太工業、生技醫療業、電子產品及其他耐熱機械等。 -
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曝光機專用零件
◉ Nikon 曝光機專用電路板
◉ Nikon rack
◉ 光學產業零配件
X3IU-LINKA2- 4S026-822- 580030
X3IU-LINKA-4S019-158-560079
S1 X7L1-SP-C2000-01-W3518F 83C
MTT DSP8067A電路板
X3ML-DIO 4S-008-208-B
4S066-098 RA-AGC VME NSR BOARD
4S019-663 HSL-A VME NSR BOARD
4S008-627 L-INTG VME NSR BOARD
4S008-629 MTR-CTRL VME NSR BOARD
4S008-680 L-MNT VME NSR BOARD
4S008-424 FPDIO2 VME NSR BOARD
4S008-178 SPDIO VME NSR BOARD
4S008-164 MEAS VME NSR BOARD
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